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抛光液又称化学机械研磨液，，，，，由纳米级研磨颗粒和高纯化学品组成，，，，，是化学机械抛光工艺历程中使用的主要化学质料。。。。。。

抛光液在CMP手艺中至关主要，，，，，在抛光质料中价值占比约50%，，，，，其耗用量随着晶圆产量和CMP平展化工艺办法数增添而增添。。。。。。

凭证应用的差别工艺环节，，，，，可以将抛光液分为硅/多晶硅抛光液，，，，，浅槽隔离（STI）抛光液，，，，，金属栅极抛光液，，，，，介电质料（二氧化硅、氮化硅）抛光液，，，，，钨抛光液，，，，，铜及铜阻挡层抛光液，，，，，以及用于三维集成的硅通孔（TSV）和混淆键合抛光液等。。。。。。

抛光液特点为种类繁多，，，，，纵然是统一手艺节点凭证差别客户的工艺手艺要求也有差别配方，，，，，其主要质料包括纳米磨料、种种添加剂和超纯水。。。。。。其中，，，，，纳米磨料是决议抛光液性能的要害质料，，，，，主要包括硅溶胶和氧化铈等品类，，，，，约占抛光液价值的三分之一。。。。。。

得益于整个半导体行业及半导体质料的迅速增添，，，，，全球抛光液市场泛起快速增添态势。。。。。。2021年全球抛光液市场规模18.9亿美元，，，，，同比增添13%，，，，，其中铜抛光液、钨抛光液和氧化物抛光液的市场规模占比最大，，，，，而钴抛光液和多晶硅抛光液则成为增添最快的抛光液品类。。。。。。

近年中国抛光液市场增速显著高于全球市场，，，，，2025年海内抛光液市场有望占全球市场的25%，，，，，达40亿元，，，，，2022-2025年中国抛光液复合增添率达15%。。。。。。

内容节选自4001百老汇宣布的《中国抛光液行业市场调研与投资战略报告（2023版）》，，，，，若有需求，，，，，联系4001百老汇010-67280121